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特殊气体是指在光电子、微电子等领域,尤其是大规模集成电路、液晶显示器等制造过程中不可缺少的基硅性支撑原料。它的纯度和洁净度会直接影响向光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术的指标和成品率,并且从根本上制约着电路和器件的性和准确性。
随着化合物半导体市场的不断扩展,特殊气体的需求量也不断增加。目前在台湾和日本的化合物半导体在市场上的占有率较高,在近年来,中、寒的发展势头强劲,北美、欧洲的市场占有率也不断提高。
半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少,大部分是有毒或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体按照应用分类,主要包括:
1、硅族气体:含硅基的硅烷类,如硅烷、二氯二氢硅、乙硅烷等
2、掺杂气体:含硼、磷、砷等三族及五族原子之气体,如三氯化硼、、磷烷、砷烷等。
3、蚀刻清洗气体:以含卤化物及卤碳化合物为主,如录气、三弗化氮、溴化氢、四弗化碳、
六 弗烷等。
4、反应气体:以碳系及氮系氧化物为主,如二氧化碳、氨、氧化亚氮等。
5、金属气相沉积气体:含卤化金属及有机烷类金属,如六氟化钨、三甲基镓等。
以上就是关于特殊气体在LED中的应用介绍,希望帮助到大家,如有需要欢迎来致电。
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