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什么是高纯气体管道配管技术?所谓的高纯气体配管技术,是包括高纯供气系统的正确设计、阀门管件及附件的合理选择、管道施工、安装试验和测试等;是高纯气体供应系统的重要组成部分;是高纯气体稳定地输送到用气点,且符合设备使用要求的关键技术。
高纯气体
在电子工业中普通气体,也称大宗气体(Bulkgas):氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氮气(A2)等;除普通气体外,电子工业还会用到大量的高纯特种气体(Specialty gas ),如:SiIH4、PH3、B2H6、CL、HCL、CF4、POCL3、BCL3、SIF4、CLF3、C2F6、N2O等等。这些特殊气体根据气体性质,类别通常可分为腐蚀性、毒性、易燃性、助燃性、惰性等。
半导体行业中使用的电子特种气体,很多都是对人体有害的。比如,半导体制程工艺.常见的特种气体:硅烷(SiH4)就具有自燃特性,一旦发生泄漏,它们就会与空气中的氧气剧烈反应并开始燃烧。再比如磷烷(PH3)和坤烷(AsH3)也具有剧毒性,轻微的泄漏都可能对人们的生命造成伤害。正是由于这些明显的危险,所以对于高纯气体供应系统设计的要求特别高。
高纯气体管道系统工程有着能气体的纯度、标准气体流量、压力稳定和量值传递不发生变化等特点,广泛应用于半导体、集成电路、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医药、各种实验室、科研研究所、标准测试等高科技行业。
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